石墨模具与半导体产业

随着半导体产业的快速发展，对石墨模具的需求持续增长。石墨因其优异的耐高温性、化学稳定性和导热性能，成为半导体制造中不可替代的关键材料。

核心应用场景

1. 晶体生长坩埚：用于单晶硅拉制过程中的石英坩埚支撑件
2. 外延基座：硅片外延生长时的承载平台
3. 离子注入部件：离子注入机中的石墨挡板和保护罩

技术要求

半导体级石墨要求灰分含量低于5ppm，纯度达到99.999%以上，颗粒均匀度极高。